1、原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。与WDS（波谱仪）相比，EDS（能谱仪）具有以下优缺点： 优点：（1）能谱仪探测X射线的效率高。（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。
2、EDS工作原理：利用Si（Li）能谱仪的特性，不同元素的X射线光子因其特征能量不同而被检测。当X射线光子被Si（Li）晶体吸收，会生成电子-空穴对，这些电子通过前置放大器转换为电流脉冲，进一步处理后形成电压脉冲，最后通过多通脉冲高度分析器分类计数，形成I-E图谱。
3、分析方法很简单，EDS能谱都有直接定量分析的功能，为了准确，你可以多点分析（大于20个点），取平均值。EDS是定性的分析，其结果只能作为参考，取面分析相对来说更好一点，但是也不可以作为定量分析。EDS分析是分析元素种类的，利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。
4、EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS，或者俄歇分析（AES），XPS和AES对表面含量较为适合。EDXRF是能量色散型荧光X射线。2：EDS通过不同波长区分元素的，EDX是通过不同能量区分元素的，这两者的结构完全不同。
5、这个问题不好说，看你有没有这个检测需求。EDS主要检测无机成分在固体微观区域分布状态，定量研究无机元素分布均匀程度。一般使用无标样定量分析，主元素的定量精度较高，相对误差±2%范围内，微量及痕量元素相对误差很大.使用高级的有标样定量分析，相对误差1%内。
